1、真空： 泛指低于一个大气压的气体状态
2、特点：
1 、真空容器受大气压的作用，压力大小决定于容器内外的压力差；
2 、真空状态下，气体稀薄，单位体积分子数少，分子之间或与其他质点（如电子、离子）以及器壁的碰撞次数少。
3、真空科学与技术的分支学科
真空技术 ：真空获得、测量、检漏、真空系统及元件
真空冶炼： 铸造、热处理、焊接、单晶体制备
等离子体科学与技术：磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示器
薄膜科学与技术 ：蒸发镀、离子镀、CVD、溅射镀膜
电子材料加工工艺 ：电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀
表面科学： 固体表面电子结构、原子结构，隧道显微镜，表面性能测试
应用表面科学 ：紫外光电子能谱、x光电子能谱等表面分析仪器
纳米科学与技术： 材料制备、性能测试与分析、应用
3、真空度的单位及真空区域的划分
1）真空度
是对气体稀薄程度的一种客观量度，最直接的物理量应该是每单位体积中的分子数，由于历史原因，真空度的高低通常用气体压强表示，气压低，真空度高，反之，真空度低。
2）气体压力： 气体作用于单位面积器壁的压力。
3）真空度测量：
早期采用 Hg 柱高度测量压强，1 大气压=760mmHg后来发现 Hg 有7 种同位素，密度不同，这样同一汞柱表示出来的压强不唯一。第10 届国际计量大会决定改用帕来定义标准大气压，规定：1 标准大气压（atm ）=1.013 ×10 5 Pa ，大气压的1/760 称为1 托（Torr ），1托几乎等于1mmHg，1Torr=1/760Pa=133.33Pa；1mbar=100Pa=0.75 mmHg1PSI=6895Pa=68.95mbar=51.715 mmHg
4、真空区域的划分：
真空区域的划分没有统一标准，国内划分也不统一，一般分为5 个区域：
粗真空 760~10 Torr
低真空 10~10-3 Torr
高真空 10-3~10-8 Torr
超高真空 10-8 ~10-12 Torr
5、真空技术的应用
广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。
例如：压力差制成真空吸盘、真空送料；电子管、离子加速器（碰撞少）；冶金工业：真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备；食品工业，真空保鲜、包装、冷冻干燥；活性物质防氧化（延长寿命，灯泡）；表面物理学（洁净表面进行充分实验研究）
内容来源网络，如有侵权，联系删除，本文地址：https://www.230890.com/zhan/90336.html